富加镓业6英寸氧化镓单晶生长获重大突破
据富加镓业消息,近日,富加镓业采用自主垂直布里奇曼法(VB法)成功生长出厚度超70mm的6英寸氧化镓单晶晶锭,经平湖实验室HRXRD检测,结晶质量优异;同时经中国计量科学研究院检测,电学性能可满足碳化硅行业对衬底的要求。
技术突破与检测验证
晶锭厚度是衡量单晶生长技术成熟度与产业化程度的关键指标,更厚的晶锭意味着单根晶体可切割出更多衬底片,直接降低单片成本。
核心成果:采用自主VB法生长,晶锭厚度超70mm,结晶质量与电学性能均通过权威机构检测认证。
据富加镓业消息,近日,富加镓业采用自主垂直布里奇曼法(VB法)成功生长出厚度超70mm的6英寸氧化镓单晶晶锭,经平湖实验室HRXRD检测,结晶质量优异;同时经中国计量科学研究院检测,电学性能可满足碳化硅行业对衬底的要求。
晶锭厚度是衡量单晶生长技术成熟度与产业化程度的关键指标,更厚的晶锭意味着单根晶体可切割出更多衬底片,直接降低单片成本。
核心成果:采用自主VB法生长,晶锭厚度超70mm,结晶质量与电学性能均通过权威机构检测认证。